微导研发成功全球领先ALD设备

 　　今年2月，江苏微导接到了全球太阳能电池片出货量最大的厂商通威太阳能的一张订单，为其高效电池生产提供原子层沉积(ALD)钝化设备。“通威选择的是全球领先的一台ALD设备，它实现了国产智能装备在光伏领域的一大技术突破。”江苏省“双创人才”、微导首席技术官黎微明博士昨天高兴地告诉记者。
　　从芬兰回国领衔微导技术团队，黎微明发现中国的科技创新速度已经超越了很多国家。微导隶属于先导集团，核心研发团队为芬兰、新加坡、日本的博士团队，“企业对科技的投入更加明确，研发人员更加勤奋，这使得我们在很多技术领域实现突破成为可能。”他口中的可能性，在微导只用了不到一年时间。
　　太阳能发电离不开光伏电池，目前我国在光伏电池研发制造领域处于世界领先水平，行业平均光电转换效率大约在21.5%左右。而每提高1%的光电转换效率，都将拉低光伏发电的成本。
　　在微导厂房内，理想正在转化为现实。一名技术人员正在调试一台全球最先进、最智能的ALD设备，“这样的设备，可以直接运用到无人、无灯工厂，每台设备为企业至少节约4个技术工人，”这位技术人员告诉记者。更重要的是，智能设备大大提升了产品性能，“在设备成本投入增加不到1%的情况下，电池片光电转换效率可以提高1%”，黎微明说，在智能制造设备的帮助下，光伏发电量得以增加10%，“这必然将加快推动光伏平价上网成为现实”。
　　ALD是在纳米技术领域及半导体等多个重要产业领域中的一项新兴关键技术。现有的ALD量产技术都被国外的设备大厂垄断。“以前大多采用的是德国设备，价格高，维修难，交货周期也很长。微导填补了这一空白，还将成本大大降低。”
　　记者从业内人士处获悉，ALD技术不仅可以运用于新能源产业，还将促进多个工业领域包括半导体、显示器等产业化发展。随着无锡加大对以物联网为龙头的新一代信息技术产业，尤其是集成电路产业的投入，智能设备大有用武之地。“微导的核心技术能够为新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等多个工业领域的产业化生产提供整体解决方案。”　下转第2版>>>　　上接第1版>>> 　 　 　 微导副总经理胡彬告诉记者，目前公司在半导体设备的研发投入占到了30%，业务量占到10%，但是结合无锡产业发展规划和市场需求，半导体智能设备将逐渐成为公司的主业，“在一年时间内，将研发投入提升到70%，业务量占比提升至60%。”对黎微明来说，摆在他面前的难题是如何打破国外企业对集成电路设备的垄断，“集成电路产业的大量投资都是用于设备投资，而一条产线超过95%的设备都要依赖进口，我们生产的智能设备已经和北京、昆明等地的集成电路厂商有了成功的尝试，未来希望能够在国内市场取得更多的市场份额。”（转自《无锡日报》）